精炼半导体制造，简化工艺效率，提高产品质量
- 半导体
- 吸光度
亚博最新网站多少Ocean Insight与半导体解决方案供应商GlobalFoundries合作，改进流程，以支持新兴电子技术，如5G和物联网亚博提现能秒速到账
挑战
半导体器件制造是一个复杂的过程，在制造的各个方面都需要精密度。保持质量和最小化晶圆损耗需要无污染气体和精确的气体混合物、用于腔室等离子体清洗的端点检测，以及精确定时的沉积和蚀刻端点检测。
传统的监控半导体腔室清洁、沉积和蚀刻过程的方法导致了较低的晶圆产量和腔室退化。现在，制造商可以利用光学发射光谱学（OES）和机器学习对过程进行精确、高速的监控，从而生产出更高质量的半导体材料，用于电子和纳米技术的新用途。
洞察力
在半导体加工中，试错法曾经规定了腔室清洁、沉积速率和刻蚀时间，这种不精确的方法导致了较低的晶圆产量、腔室退化和资源浪费。
即使技术进步，包括使用单色仪监测光学端点过程，限制仍然存在。例如，单色器仅限于单波长分析，可能受到光学干扰的影响，并且不容易因不同的生产配方而关闭。
使用Ocean Insight的高速精密光谱仪进行光学端点传感测量，有助于结束旧技术的局限性。使用OES，用户可以一次快速准确地监测所有等离子体波长，消除猜测。将我们的机器学习算法应用于测量数据将为过程控制增加亚博最新网站多少另一层次的洞察力。
基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺，还可用于腔室灭菌。这些工具有助于优化晶圆产量和质量。
解决方案
GlobalFoundries（GF）为全球领先的半导体创新者提供设计、开发和制造服务。Ocean Insight与GF密切合作，以解决与先前使用的重要反应离子蚀刻工艺相关的问题。管理这一“定时蚀刻”过程（用于确定晶圆暴露在腐蚀性生产气体中的时亚博最新网站多少间）依赖于单波长仪器、有关化学反应变速的知识以及简单的试错。这常常导致产品蚀刻过度和不足，浪费昂贵的资源。
在我们的帮助下，GF正在系统中安装Ocean Insight光谱仪，并重新编写其算法亚博最新网站多少，以监控多个等离子体发射光谱，从而精确停止蚀刻。潜在的影响是巨大的。例如，一名工程师可能负责100多个腔室，每个腔室的蚀刻时间为5-25分钟。即使是流程中的微小改进也可以大大简化生产并提高产品质量。
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